ساخت تراشه میکروشاره با میکروماشین‌کاری لیزری

نوع مقاله: پژوهشی

چکیده

در این مقاله از ماشین­کاری پلیمر PMMA با لیزر 2CO به منظور ایجاد مجراهای دو بعدی میکرو (با ابعاد کمتر از 500 میکرون) استفاده شده است. به منظور ایجاد کانال میکرو، نمونه با دو شاریدگی J/cm2 9/44و 4/48  و سرعت­های پایش متفاوت از مرتبه μm/s 500-63 توسط لیزر 2CO پالسی مورد تابش قرار گرفته است و در مراحل بعدی برای تکمیل تراشه میکرو شاره، تراشهT  شکل توسط لیزرهای 2CO به پلیمر جوش داده شده­است. نتایج حاکی ازعملکرد بهتر لیزر 2COپیوسته نسبت به پالسی برای اتصال تراشه میکروشاره است.

کلیدواژه‌ها